a-Si:H sluoksnių gamyba karštos vielos metodu |
|
Įvadas. Literatūros apžvalga. Amorfiniai puslaidininkiai. H – įtaka a-Si savybėms. Dydžiai, apibūdinantys kokybines sluoksnių savybes. A-Si:H sluoksnių gamybos technologijos. Dulkinimo metodas. Cheminio nusodinimo metodai. Rusenantis išlydis. Karštos vielos metodas. A-Si:H formavimo įrenginiai. Išvados. Literatūra. |
|
|
|
|
| Pagrindiniai darbo duomenys | |
| Dalykas | Fizika / Kursinis darbas |
| Kategorija | Fizika |
| Tipas | Kursiniai darbai |
| Apimtis | 15 pus. |
| Literatūros šaltiniai | 7 |
| Švietimo institucija | 0 |
| Kursas / Klasė | 2 |
| Autorius | Nežinomas |
| Pristatymo metai | 2000 |
| Darbo bylos formatas | |
| Darbo bylos dydis (zip) | |
| Darbo kalba | Lietuvių |
| Raktažodžiai | |
| metodas, sluoksnių, metodai, gamybos, vielos, karštos, apibūdinantys | |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 |
14 |
15 |